三、直径响应方程
由固液界面处能量守恒导出的关系式(1-11)可得
固液界面是温度恒为凝固点Tm的等温面,根据式(1-47)可得在固液界面处晶体内沿轴的温度梯度为
注意式(1-47)与式(1-60)的符号相反,是由于坐标轴相反的缘故。将(1-58)式和(1-60)式代入(1-59)式得
若其他参量不变,当熔体的温度由Tb变到,则相应的晶体半径ra改变到,同样有
由式(1-61)减去式(1-62)有
令熔体温度的改变为,晶体直径的改变为,代入(1-63)式,化简后可得
故直径的惯性C*为
式(1-64)称为直径的响应方程,可以看出直径的惯性C*愈大,对同样的温度起伏ΔTb产生直径的变化愈小,因而在等径生长阶段要求具有较大的直径的惯性。
在直径的惯性的表达式(1-65)中包含热交换系数ε,由式(1-41)或(1-42)可以看出,热交换系数ε等于晶体表面与环境气氛间的对流热交换系数εc和辐射热交换系数εr之和。故ε不仅和晶体表面的辐射系数等物体常数有关,而且通过εc还和周围气体的热传导系数、气体密度、定压比热容、黏滞系数、膨胀系数以及晶体的长度有关。
因此通过式(1-65)可以看出,直径的惯性C*和晶体的物性、熔体的物性、周围气氛的物性以及晶体的几何尺寸有关,又通过温度边界层δT(式1-57)和晶体的转速相联系。
对给定的生长系统(即给定晶体的类别、周围气氛的类别),如何才能提高晶体直径的惯性呢?从式(1-65)可知,降低环境温度T0、减小晶体直径d、减慢晶体转速ω、增加热交换系数ε都能提高直径的惯性C*。
布赖斯等人用直拉法生长铌酸锶钡时,碰到的主要困难就是直径的惯性太小,晶体的直径对温度起伏过于敏感,生长不易控制。于是设计了如图1-5所示的装置,用吹氧的办法有效地降低了环境温度T0,增加了热交换系数ε,从而提高了直径的惯性C*,取得了较好的结果[4]。