微机电系统及工程应用

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“现代机电一体化技术丛书”编委会

丛书序

前言

第1章 概论

1.1 微机电系统的定义

1.2 微机电系统的发展现状

第2章 微尺度效应

2.1 概述

2.2 微执行器的尺度效应

2.3 微流体的尺度效应

2.4 微尺度热学

2.5 微摩擦基础

2.6 尺度效应的一个实例

第3章 微机电系统材料

3.1 概述

3.2 硅材料

3.3 压电材料

3.4 形状记忆合金

3.5 超磁致伸缩材料

3.6 聚合物

3.7 电流变体

第4章 微机械制造技术

4.1 概述

4.2 微机电系统中的传统超精密与特种加工技术

4.3 微机电系统常用的集成电路工艺

4.4 硅微机械加工技术

4.5 LIGA工艺

4.6 微封装

第5章 微检测技术

5.1 概述

5.2 微结构的材料特性检测技术

5.3 微机电系统构件的几何量检测

5.4 微系统的性能检测

第6章 微构件

6.1 概述

6.2 结构梁

6.3 薄膜

6.4 铰链

6.5 隧道探针

6.6 压阻换能器件

6.7 静电微构件

6.8 可动质量块

第7章 微执行器

7.1 概述

7.2 静电执行器

7.3 压电执行器

7.4 电磁执行器

7.5 热执行器

7.6 微流体执行器

第8章 微传感器

8.1 概述

8.2 微型物理传感器

8.3 微型化学量传感器

8.4 微型生物传感器

第9章 微构件及微器件制造工艺

9.1 悬臂梁的制造工艺

9.2 悬空结构的制造工艺

9.3 薄膜的制造工艺

9.4 微器件制造工艺示例

第10章 微系统及应用

10.1 概述

10.2 在汽车工业中的应用

10.3 微机器人

10.4 微型飞行器

10.5 在航空航天中的应用

10.6 在医学中的应用

10.7 在军事武器中的应用

10.8 在生物科学中的应用

10.9 在信息技术中的应用

第11章 微机电系统设计技术

11.1 概述

11.2 微机电系统设计的概念、任务及类型

11.3 微机电系统设计过程

11.4 微机电系统现代设计方法简介——健壮性设计

11.5 微机电系统设计方法学与发展方向

第12章 微机电系统计算机辅助技术

12.1 概述

12.2 MEMS CAD设计原则

12.3 MEMS CAD结构体系

12.4 MEMS建模与仿真

12.5 宏模型

12.6 建模语言VHDL-AMS简介

12.7 常用软件介绍