1.1 基础工艺技术

基础工艺技术包括形成二氧化硅膜的热氧化工艺，将杂质掺入硅中的杂质扩散和离子注入工艺，将电路缩小版图复制到硅片表面的制版和光刻工艺，以及各种薄膜的淀积工艺等。