GB/T 51198-2016 微组装生产线工艺设计规范
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3.13 测  试

3.13.1 微组装各阶段测试方案选择应符合下列规定:

1 贴装工艺后的测试应包括显微镜检、万用表测试接地电阻,是否短路、无损检查共晶界面的空洞以及芯片剪切强度测试;

2 引线键合后的测试应包括显微镜检、破坏性以及非破坏性引线键合强度的键合拉力测试;

3 倒装焊后可进行高温和热循环实验,然后采用电测试、边界扫描或功能测试的方法,检查芯片的短路和开路;或者采用自动光学检测、自动无损检测、声学检测方法检测芯片焊接界面的微观特性;

4 基板钎焊后应采用无损方法进行空洞率测试;

5 钎焊、平行缝焊、激光焊等工艺后应进行外观检查和腔体气密性测试,有特殊要求的产品还应进行无损检查。

3.13.2 测试过程的主要工序应符合下列规定:

1 测试前应按照图纸及技术要求对待测件进行状态检查,检查测试设备状态,并应按技术要求对测试设备相关参数进行设置;

2 应记录各项测试项目测试参数;

3 测试之后应对所测参数进行核对;

4 用显微镜进行外观检查时,一般电路可使用30倍~60倍显微镜,芯片检查应根据特征尺寸采用高倍显微镜;

5 芯片剪切强度测试、键合拉力测试、高温和热循环试验宜采用抽样测试;

6 引线表面、引线下面或引线周围有用于增加键合强度的任何粘接剂、密封剂或其他材料时,应在使用这些材料以前进行试验;

7 有气密性要求的产品中,腔体上焊接有绝缘子或接头的,应在绝缘子钎焊清洗后先进行检漏测试,检验合格的产品方可进行之后的组装操作。