MEMS法珀腔光学声传感器
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第1章 概述

由于光纤工作频带宽、传输损耗小,再凭借微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)制造工艺可实现微小型化、批量化和高一致性生产的优势,MEMS光学声传感器表现出高灵敏度、宽频带、大动态范围和高信噪比的优异声探测性能,受到了科研人员的普遍关注和深入研究。本章将通过光学声传感器的研究现状及光学声传感器中的MEMS工艺介绍,总结得到光学声传感器的发展趋势。