第67章 新想法
均匀地在已经氧化好的晶圆上，涂上光刻胶，机器开始工作，DUV被激发，然后通过掩膜落在了晶圆之上。
程铭作为老司机，清楚地看到这个机器其实用的还是多重曝光技术。
DUV的分辨率仅能达到38nm的档次，要用其刻出14nm乃至7nm的宽就得用到多重曝光。
紫外光通过掩膜进行第一次曝光，在用沉积让其加宽加粗，再进行第二次曝光，这样就得到了双重密度的图像。
这种方式其实不算太机密，机密的是实现的工艺手法，而路芒这台机器实现的工艺似乎和目前流传的都不太一样。
在当前工艺下，光刻机可以在极短的时间内对晶进行了四次曝光。
也就是这和其他厂商完全不同的曝光技术保证了其在14nm时拥有相当好的光刻精度。
甚至可以想办法做到5nm！
整个光刻过程是很快的，虽然因为多重曝光，比单次曝光的时长多了一些，但也就五分钟，整个光刻就结束了。
光刻仅仅是将电路设计图刻在了光刻胶上，清洗完之后就可以进行蚀刻了。
蚀刻完，这些电路图才算是正式来到了晶圆上。
下一步便是注入离子在晶圆表面形成数以亿计的晶体管。
后面还得经过热处理，经过镀铜，最后将晶体管全部连接起来，这块芯片才算是初步完成。
一直到了晚上八点钟，程铭终于呼出了一口气，从工作状态中脱离了出来。
而在他手上的正式一块已经被切下来已经完成了封装的芯片。
他带过来的电路设计图，是正儿八经的14nm制程，算是目前夏国攻克14nm稳定产出后就准备上马的芯片项目。
他本来是觉得，按照目前的科研速度，至少也得等个一两年，他手上的设计图才有被用上的可能。
没想到的是，今天，他竟然就拿到了这份设计图做出的成品，这就和在做梦一样。
拿着这块芯片，他狠狠揪了一下自己的胳膊，直到感觉到了疼痛感才让他有些真实感。
“程教授，你出去吃点东西吧，一天没吃饭了。”路芒再次从实验室外面走了进来，有些担心地对着程铭说道。
要是知道面前这个快要六十的老人，工作起来这么不要命，他都不想把他带进来了。
一整天对着控制台，就没有离开过厂房，一会操作光刻机，一会操作后面的蚀刻，路芒每次进来，这位都在忙碌着。
让他去吃饭，也是被他直接轰了出去。
“好啊，是该吃饭了！”
本以为这次程铭也不会答应的路芒，却是听到了程铭的回答声。
路芒一看，这程铭正拿着一小块立方体，满面笑容。
脑筋一转，大概明白应该是成功了。
他脸上也露出了欣喜的笑容，这台光刻机虽然是他亲手搭起来的，脑子里的知识也告诉他，这玩意绝对能轻松驾驭14nm。
但毕竟没有经过实战考验，今天程铭在做的时候，他心里也在不停打鼓。
就怕这台光刻机达不到说明等级，要是这台光刻机达不到说明等级，那也就意味着光刻工厂可能也悬。
纵然是系统出品，但路芒仍然是止不住地担心，这也算是人之常情。
程铭摇摇头：“还不清楚，虽然做是做出来了，但是还没有经过测试，不太清楚这块芯片是不是能正常使用。”
“我们去吃饭吧，我请你，我有一个想法，我们边吃边说。”
程铭将这块芯片用静电袋装了起来，又用缓冲袋装了起来，放进小盒子里，最后才塞进了自己的手提袋里。
这才算放心。
随后就夹着手提袋，招呼着路芒出去吃饭。
时间已经不早了，附近本来就是荒郊野外，食堂的厨师早就回家了。
让他留着的饭菜也冷了。
附近唯一一家餐馆在五公里外，而且这个点人家也已经关门停止营业了。
路芒索性开出了自己的小五菱，驮着程铭，就进了城里。
两人随便找了一家看起来比较清净的面馆，就坐了下来。
面馆的东西上的比较快，不过几分钟，两碗面就被端了上来。
程铭拿起一次性筷子，掰开就先夹了一大块塞进了嘴里，显然是今天饿急了。
等到把面咽下去后，才舒了口气，对着路芒说道：“路老师，我有一个想法。”
“之前，我是觉得你的光刻厂成功率很高，所以想着是赶紧将项目推上去。”
路芒点点头，这方面程铭之前就已经和他说过了。
“不过今天我觉得我们的策略应该变一变。”
路芒皱起了眉头，心想，程教授这个意思难道是觉得自己这个DUV光刻机还有发展前景，要先停光刻厂项目？
这和他的的初衷可就完全不一样了！
再说他很清楚这个光刻机极限就是7nm，用来制作5nm芯片完全是得不偿失。
程铭见路芒没有反应，抬头看了一下，就看见路芒严肃的表情，他立刻明白了，面前这个年轻人误会了！
“路老师，你别误会！”
“我的意思不是停止光刻厂的建造。”
“而是光刻厂建造是需要时间的，就算绿灯全开，整个厂子建起来没有四五年年也很难完成。”
这一点路芒倒是有不同意见，毕竟他已经有了整套工厂设计图，再加上全能工厂还能建造建筑模块。
只要项目开始推进，顶多一年的时间，整个光刻厂项目就能完成落地。
不过，路芒想看看程铭要说什么，所以并没有打断？
“我的想法是将路老师的光刻机摆在光刻项目计划的明面上。”
“路老师应该也知道，对面对我们的技术封锁是很严厉的，但同时他们也非常担心我们自己突破技术壁垒。”
“假如，我们透出自己已经有制造EUV光刻机的能力……”
程铭看着路芒。
路芒也明白了，这是要迫使对面放开光刻机限制来减弱夏国的自研决心。
有现成的，你又何必去自己研发呢。
“有一个问题，我的并不是EUV啊。”
程铭笑了笑：“是啊，但是谁知道呢？”