CMOS芯片结构与制造技术
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2.2 P-Well CMOS(B)

电路采用1.2μm设计规则,使用P-Well CMOS(B)制造技术。表2-2示出该电路典型元器件、制造技术及主要参数。它以 P-Well CMOS(A)制程及所制得的各种元器件为基础,并对其芯片结构和制造工艺进行改变,最终在硅衬底上形成CMOS IC中的各种元器件,并使之互连,实现所设计电路。如果制程完成后得到的各种参数都符合所设计电路的要求,则芯片功能和电气性能都能达到设计指标。

表2-2 工艺技术和芯片中主要元器件

*表中参数:SN-区结深/薄层电阻分别为XjSN-/RSN-,四乙氧基硅烷淀积薄膜厚度为TTEOS,耗尽型NMOS阈值电压为UTND,其他参数符号与表2-1相同。