2.6　石墨烯片上螺旋电感

石墨烯是一种蜂窝状结构的二维单原子晶体，它是自然界中迄今所知最薄的材料之一，也是强度和硬度最高的晶体结构之一。由于其诸多优异的特性，石墨烯有望取代半导体集成电路中的传统硅和铜等金属互连材料，用以构造全碳微纳电子器件和电路。

石墨烯作为新型材料可应用于片上螺旋电感，用石墨烯制作的电感和传统金属电感具有不同的性能，本节针对石墨烯片上螺旋电感提出了一种改进的等效电路模型。同时针对这一模型，结合分析法和优化法，提出了一种适用的模型参数提取方法［16，17］。