GB 51209-2016 发光二极管工厂设计规范
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2 术  语

2.0.1 发光二极管  light emitting diode(LED)

一种能够将电能转化为可见光的固态半导体器件。

2.0.2 外延  epitaxy

在单晶衬底(基片)上生长一层或多层有一定要求的、与衬底晶向相同或相似的单晶层的生长技术。

2.0.3 金属有机化合物化学气相沉积  metal-organic chemical vapor deposition(MOCVD)

以Ⅲ族、Ⅱ族元素的金属有机化合物和Ⅴ、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长原材料,以热分解反应方式在衬底上进行气相外延,生长各种Ⅲ-Ⅴ族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体及其多元薄层单晶材料的工艺过程。

2.0.4 空间管理  space management

为有效利用空间、缩短工作流程,对大到整个厂区的建筑物布局、地下管线规划,小到一栋建筑物内部各个专业间的配置协调而进行的设计。