GB 51136-2015 薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范
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7.4 微振动控制设计及测试

7.4.1 微振动控制设计应包括下列因素:

1 厂房外部振源;

2 厂房内部操作人员行走;

3 生产和动力设备运行;

4 管道内流体流动;

5 工艺设备的固有频率。

7.4.2 同一个工艺生产楼层中,垂直方向可按不同设备的微振动控制要求选择不同的微振动控制标准,水平方向应按全部设备中最严格的微振动控制标准要求选择。

7.4.3 核心区楼层结构应采用小柱距的布置方案,VC-C微振动控制标准的区域柱距不宜大于6m;VC-A、VC-B微振动控制标准的区域柱距不宜大于10m。

7.4.4 首层地板应采用钢筋混凝土结构,厚度不宜小于400mm,并应与主体结构连成整体。

7.4.5 微振动控制在工程建设中应按下列步骤进行微振动测试及分析评估工作:

1 场地环境振源的调查、振动测试及分析评估;

2 结构楼层的动力特性测试及分析评估;

3 支持区动力设备运行时基座平台上的振动测试及分析评估;

4 工艺设备运行时基座平台上的振动测试及分析评估。