一九六一年，GCA是第一家制造商业步进和重复掩模减少设备的公司；七五年，推出了首个用于抗蚀剂加工的晶圆轨道；七八年，推出DSW 4800、第一个成功的晶圆光刻机；八五年研发出第一台为贝尔实验室开发的D...