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4 缩略语
EHS：环境、健康、安全（Environmental Health Safety）
ERP：企业资源规划（Enterprise Resource Planning）
EMO：紧急制动按钮（Emergency Mechanical Off）
FMEA：失效模式及后果分析（Failure Mode and Effects Analysis）
LEL：指爆炸下限（Lower Explosion Limited）
MES：制造执行系统（Manufacturing Execution System）
OEE：整体设备效率（Overall Equipment Effectiveness）
OEL：职业接触限值（Occupational Exposure Limit）
PECVD：等离子体增强化学气相沉积法（Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition）
SPC：统计过程控制（Statistical Process Control）
SQC：统计质量控制（Statistical Quality Control）