3 术语和定义

GB/T 7665—2005 中界定的以及下列术语和定义适用于本标准。

3.1 传感器 transducer/sensor

能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用信号的器件或装置，通常由敏感元件和转换元件组成。

注 1：敏感元件（sensing element），指传感器中能直接感受或响应被测量的部分。

注 2：转换元件（transducing element），指传感器中能将敏感元件感受或响应的被测量转换成适于传输或测量的电 信号部分。

注 3：当输出为规定的标准信号时，则称为变送器（transmitter）。

[GB/T 7665—2005，定义 3.1.1]

3.2 芯片式传感器 chip sensor

是采用半导体集成工艺而制成的传感器，通常将传感信号的处理电路集成到一块芯片上，实现传感器的 SoC 集成和智能化设计，可完成测量及模拟信号的输出。主要特点是测量误差小、响应速度快、传输距离远、体积小、微功耗等，适合远距离测量、控制，不需要进行非线性校准，外围电路简单。

3.3 数字化车间 digital shop floor

数字化车间是以生产对象所要求的工艺和设备为基础，以信息技术、自动化、测控技术等为手段，用数据连接不同生产单元，对生产过程进行规划、管理、诊断和优化。

[GB/T 37393—2019 数字化车间 通用技术要求，定义 3.7]

3.4 菜单 recipe

芯片式传感器生产过程中对晶圆所做的每一步处理规范。

3.5 产品家族 product family

产品家族是产品的逻辑分组，一个产品只能隶属于一个产品家族，但一个产品家族可以包含多种产品。

3.6 能力组 ability group

描述生产单元能够执行菜单能力的逻辑分组。

3.7 变量组 variable group

将同一类型的变量分组管理，如温度变量组、压力变量组等。