5-7　对制备三氯氢硅所用的氯化氢是怎样处理的？

一般制备三氯氢硅所用的氯化氢中含水量不得超过0.03％～0.08％，因此，氯化氢的处理任务也主要是干燥。其干燥的方法与前面所述氯气的干燥相似，可以采用硫酸干燥。在三氯氢硅生产中常用的干燥器是塔式的，硫酸由塔顶部，氯化氢气体从塔底部进入干燥塔。氯化氢气体与硫酸在塔内对流相遇，充分接触，氯化氢气体到了塔顶部，其含水量已达到标准。干燥合格后的氯化氢就可直接送入沸腾炉，供合成三氯氢硅使用。

在合成反应中，反应气氛对产物组成有影响，因此氯化氢最好用不参加反应的惰性气体或氢气稀释。氯化氢用氢气稀释对三氯氢硅的生成是有利的，最佳稀释比为H₂:HCl=（1:3）～（1:5）。例如，反应温度在360℃左右时，三氯氢硅的产率为62％，如向氯化氢中加入12％的氢，三氯氢硅的产率将提高到83％。稀释氯化氢还能强化反应。硅与氯化氢是放热反应，没有冷却装置的反应设备，反应产生的热量只能靠反应器壁散发。其散发速度很慢，因此，氯化氢的进入速度也不能过快，否则反应太剧烈，反应热来不及散失，反应温度将迅速升高，甚至无法控制。如果用了稀释气体，就能带走反应热量，起到冷却作用。