5-5　对生产四氯化硅所用的氯是怎样处理的？

四氯化硅的纯度除了受工业硅影响外，还取决于氯的质量。因此在四氯化硅合成之前还应对氯气进行处理。因为硅氧键比硅氯键更为稳定，所以游离氧及其化合物，特别是水分，对四氯化硅合成反应是极为不利的。水分能将活泼的硅表面氧化，生成一层氧化膜。氧化膜不利于反应，甚至使反应中断，同时也会使生成的四氯化硅发生水解，影响质量并降低产率。

一般合成四氯化硅所用的氯，是食盐电解的气体氯或瓶装的液体氯。这些氯要经过提纯和干燥处理后才可使用。处理后的氯，纯度应达到99％，含水量要求小于0.03％。达不到要求的氯气应经过滤器过滤，通入装有硫酸和硅胶的容器脱水干燥。