微晶硅是由50nm以下的结晶粒群构成的结晶，是薄膜多晶硅体。一般平均结晶尺寸为10～50nm，结晶相对率为40％～60％，可以认为它是由结晶硅和非晶硅组成的，甚至可作为非晶不均质混合材料来看待。
微晶硅也是生产太阳能光伏电池的材料，1994年由纽沙泰尔大学研究成功薄膜微晶硅太阳电池，其转换效率为7.7％。
