第3章　透射电子显微术Ⅰ成像模式和图像衬度机理

3.1　概述

透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope, TEM，简称透射电镜）具有超高分辨和高放大倍率成像的能力。由于具备这种能力，过去几十年来，透射电子显微术已经成为探索材料微观结构最重要，也是应用最广泛的工具之一。它能达到的图像高分辨率与近代发展起来的扫描探针显微术相当[1]。

透射电镜工作时，将经过加速和聚焦的电子束投射到很薄的试样上，电子与试样中的分子原子相碰撞而改变方向，发生呈立体角分布的散射。散射角的大小与试样的密度、厚度和结构相关，因而形成不同区域明暗不同的影像。通常，透射电镜的最高分辨率可达到0.1～0.2nm，放大倍数为几千到百万倍，可用于观察材料的超微结构。供透射电镜观察的试样必须制成电子束能穿透的，厚度为100～2000Å的薄膜（超高压电镜可穿透更厚的试样）。成像方式与光学显微镜相似，只是以电磁透镜代替玻璃透镜。放大后的电子像可在荧光屏上显示或摄成照片。